有機廢氣凈化的熱氧化法是基于廢氣中有機化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是：通過燃燒將廢氣中可氧化的組分轉化為無害物質。在廢氣中含CHO化合物的情況下，即轉化為CO2和H2O。

1.     按照反應溫度的不同分類

熱力氧化：把有機廢氣加熱到760℃以上，使廢氣中的揮發性有機物在燃燒室中氧化分解成CO2和H2O，凈化效率高達99%。常見的有TO、RTO。

催化氧化：采用催化劑可以降低有機廢氣氧化所需的活化能，并提高反應速率，從而可在較低的溫度下（~300℃）進行氧化燃燒，使有機物轉化為無害物質。常見的有CO、RCO

2.     按照熱回收效率的不同分類

蓄熱式氧化：是在熱氧化裝置中加入蓄熱式熱交換器（一般指蓄熱陶瓷），預熱 VOC廢氣，再進行氧化反應，蓄熱式熱交換器的熱回收率已能達到95%以上。常見的有RTO、RCO。

預熱式氧化：是在熱氧化裝置中加入預熱式熱交換器（一般指金屬換熱器），預熱 VOC廢氣，再進行氧化反應，熱交換器的熱回收率一般在50~60%。常見的有TO、CO。

3.     RTO處理技術

蓄熱氧化技術RTO(RegenerativeThermal Oxidizer，簡稱RTO)把有機廢氣加熱到760℃以上，使廢氣中的揮發性有機物在燃燒室中氧化分解成CO2和H2O ，氧化產生的高溫氣體流經特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此蓄熱用于預熱后續進入的有機廢氣，從而節省廢氣升溫的燃料消耗。凈化效率高達99%，熱回收效率高達95%。

4.     CO處理技術

催化燃燒技術CO（Catalytic? Oxidizer ?，簡稱CO）可以在較低溫度（300~500℃）下實現對揮發性有機物在催化劑上進行氧化分解反應，生成CO2和H2O，是一種節能高效的廢氣處理技術之一。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下發生無焰燃燒，并氧化分解為 CO2 和 H2O，同時放出大量熱。換熱效率一般為50~60%，凈化效率高達98%，取決于催化劑。

5.     RCO處理技術

蓄熱催化氧化技術RCO（Regenerative  Catalytic? Oxidizer ?，簡稱RCO）是RTO技術與CO技術的結合技術，把有機廢氣加熱到300℃，使廢氣中的揮發性有機物在催化劑上中氧化分解成CO2和H2O ，氧化產生的高溫氣體流經特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此蓄熱用于預熱后續進入的有機廢氣，從而節省廢氣升溫的燃料消耗。凈化效率高達98%，熱回收效率高達95%。